Heidenhain編碼器光柵尺優供

Heidenhain編碼器光柵尺優供
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根據方法的不同又分為增量式和值式光柵尺，
以下是敞開式光柵尺的信息：
直線光柵尺測量直線軸位置過程期間沒有
任何其它機械傳動件。因此，它能消除以
下潛在源：
••滾珠絲杠溫度特性導致的定位
••反向
••滾珠絲杠螺距導致的運動特性
因此，直線光柵尺已成為高精度定位和高
速加工*的*條件。
敞開式直線光柵尺設計用于需要高精度測
量的機床和系統。典型應用包括：
••半導體工業的測量和生產設備
•• PCB電路板組裝機
••超精密機床，例如加工光學元件的金剛
石刀具，加工磁盤端面車床和加工鐵氧
體元件的磨床
••高精度機床
••測量機和比較儀，測量顯微鏡和其它精
密測量設備
••驅動
機械結構
敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵
尺和讀數頭，光柵尺和讀數頭間無機械接
觸。
敞開式直線光柵尺的長光柵固定在安
裝面上。安裝面的平面度影響直線光
柵尺精度。式位置測量
LIC敞開式直線光柵尺用于測量高速運動
的行程達27 m內的位置。其尺寸和安
裝方式與LIDA 400相同。
基體和安裝方式熱膨脹系數
atherm
精度等級式位置測量
LIC
用于位置測量
鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預
緊
與安裝面相同± 5 μm 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固
定
? 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
鋼帶光柵尺，嵌入在安裝面中? 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
增量式直線光柵尺
LIP
超高精度
Zerodur玻璃陶瓷基體，嵌入
在螺栓固定在不脹的鋼基座上
? 0 · 10–6K–1 ± 0.5 μm3) Zerodur玻璃陶瓷光柵尺帶固
定架
? 0 · 10–6K–1 ± 3 μm
± 1 μm
Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基體
光柵帶固定架
? 0 · 10–6K–1 或
? 8 · 10–6K–1
± 1 μm
± 0.5 μm3)
玻璃光柵尺，安裝架固定? 8 · 10–6K–1 ± 1 μm LIF
高精度
Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基體
光柵尺，通過PRECIMET背膠
固定
? 0 · 10–6K–1 或
? 8 · 10–6K–1
± 3 μm LIDA
用于高速運動和大測量長度
玻璃或玻璃陶瓷光柵尺，嵌入
在安裝面中
? 0 · 10–6K–1 或
? 8 · 10–6K–1
± 5 μm3) 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預
緊
與安裝面相同± 5 μm 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固
定
? 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
鋼帶光柵尺，嵌入在安裝面中? 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固
定
? 10 · 10–6K–1 ± 30 μm 鋼帶光柵尺，嵌入在安裝面中? 10 · 10–6K–1 ± 30 μm PP
二維坐標測量
玻璃格柵板，全表面固定? 8 · 10–6K–1 ± 2 μm 1) 正弦信周期。
它是單信周期內的決定性因素（參見測量精度）。超高精度
LIP敞開式直線光柵尺的特點是測量步距
非常小、精度和重復精度非常高。 掃描方
式為干涉掃描，測量基準為DIADUR相位
光柵（LIP 281：OPTODUR相位光柵）。
高精度
LIF敞開式直線光柵尺的測量基準是
SUPRADUR玻璃基體光柵，用干涉掃描方
法。特點是精度和重復精度高，安裝簡
單，有限位開關和回零軌。 特殊型的
LIF 481 V可用于10–7bar的真空環境中（
參見其單獨“產品信息”）。
運動速度快
LIDA敞開式直線光柵尺特別適用于運動速
度達10 m/s的高速運動應用，支持多種安
裝方式，安裝簡單。根據相應應用要
求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻
璃或玻璃陶瓷。 也可有限位開關。
敞開式光柵尺型：
用于位置測量
LIC 4015 18
LIC 4017 20
LIC 4019 22
高精度
LIP 372, LIP 382 24
LIP 281 26
LIP 471, LIP 481 28
LIP 571, LIP 581 30
LIF 471, LIF 481 32
高速運動
LIDA 473, LIDA 483 34
LIDA 475, LIDA 485 36
LIDA 477, LIDA 487 38
LIDA 479, LIDA 489 40
LIDA 277, LIDA 287 42
LIDA 279, LIDA 289
封閉式光柵尺型：
用于位置測量    0.1um
LC400系列
LC100系列
高重復精度增量式直線測量0.1um
LF481
LF183
用于增量直線測量    0.5um
LS400系列
LS100系列
大長度測量的增量式直線測量   0.1um

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